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氣體質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)

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a)產(chǎn)品概述

質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)適用于生產(chǎn)線上的終檢校準(zhǔn),通過對(duì)小量程質(zhì)量流量傳感器的通訊功能測(cè)試及不同溫度下的校準(zhǔn),確保產(chǎn)品精度及質(zhì)量。校準(zhǔn)流程及算法可由用戶自定義配置,豐富的登錄模式及權(quán)限級(jí)別設(shè)定,自動(dòng)生成測(cè)試日志等,確保操作靈活且便于擴(kuò)展。

 

b)應(yīng)用專利技術(shù)

本系統(tǒng)中以下技術(shù)正在申請(qǐng)實(shí)用新型或發(fā)明專利:

《批量傳感器固定可識(shí)別裝置》
《無繞線針床夾具》
《高密封閥組》
《一種多氣路連接器裝置》

 

c)系統(tǒng)功能

主要功能

描 述

用戶管理

管理用戶登錄及操作權(quán)限,按權(quán)限高低分為管理員、工程師、技術(shù)員、線長和操作員,管理員具有最高權(quán)限,可以添加、刪除和修改用戶信息;

工單操作

用于創(chuàng)建不同溫度下的工單任務(wù),只有當(dāng)前存在的工單被終止或完成時(shí),才能創(chuàng)建下一個(gè)工單;

參數(shù)配置

用于工程師對(duì)校準(zhǔn)或測(cè)試參數(shù)進(jìn)行配置;

模式選擇

提供生產(chǎn)模式、工程師模式以及校驗(yàn)?zāi)J焦踩N工作模式;

錯(cuò)誤日志瀏覽

為用戶提供按時(shí)間查詢的錯(cuò)誤日志瀏覽;

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

自動(dòng)存儲(chǔ)測(cè)試過程數(shù)據(jù)。

 

 

d)特性詳解

 兼容多種信號(hào)輸出類型的傳感器——

信號(hào)類型

輸出方式

模擬量

電壓信號(hào)

數(shù)字量

IIC通訊信號(hào)

SPI通訊信號(hào)

PWM脈沖信號(hào)

 

 

溫度可控范圍寬,穩(wěn)定性優(yōu)異——可實(shí)現(xiàn)-20℃~100℃范圍內(nèi)不同溫度點(diǎn)的精確控制,溫度控制精度為 1℃,目標(biāo)溫度下的溫度波動(dòng)度為 0.2℃;

良好的氣路密封性——采用鋼質(zhì)氣管,采用少接頭設(shè)計(jì),確保系統(tǒng)密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進(jìn)行5次(用不同顏色的曲線代表)泄漏測(cè)試時(shí)的泄漏率。(單位為sccm/s,測(cè)試壓力為2.5psi,保壓時(shí)間 20s,每個(gè)傳感器夾具包含4條氣路)

 

高測(cè)試校準(zhǔn)精度——氣體流量控制精度達(dá) 1sccm,溫度控制精度 1℃。

高測(cè)試效率——系統(tǒng)可同時(shí)對(duì)32個(gè)被測(cè)件進(jìn)行操作,8路總線并行的設(shè)計(jì)方法和溫度的快速穩(wěn)定為Cycle Time節(jié)約了大量時(shí)間,達(dá)到160 DUTs/h,滿足生產(chǎn)線節(jié)拍的要求。

 

 

 

測(cè)試校準(zhǔn)穩(wěn)定可靠——GRR實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)良好。圖示為校準(zhǔn)200sccm量程的傳感器時(shí)不同流量點(diǎn)下(50/100/160/200sccm)的GRR數(shù)據(jù),均<10%。

 

 

便于維護(hù)——設(shè)計(jì)了專門的探針模塊用于從傳感獲信號(hào)點(diǎn)獲取信號(hào),損壞時(shí)更該模塊即可;氣路裝拆方便;繼電器狀態(tài)通過指示燈顯示,指示直觀。

 

 

 

完善的安全機(jī)制——智能流程判斷;提供急停等安全操作機(jī)制,在系統(tǒng)出現(xiàn)突發(fā)狀況時(shí)對(duì)人及設(shè)備形成保護(hù)。

 

e)運(yùn)行環(huán)境及系統(tǒng)指標(biāo)

項(xiàng)目

描述

系統(tǒng)指標(biāo)

流量范圍

0~1000sccm/0~200sccm可選

節(jié)拍

160件/小時(shí),32件并行測(cè)試

物理尺寸
(W D H)

溫控箱外形尺寸:2300 1430 1960mm

熱流機(jī)外形尺寸: 610 991 1303mm(Max.)
(熱流機(jī)與溫控箱距離不超過2m)

運(yùn)行環(huán)境

運(yùn)行環(huán)境

溫度:0~50℃;濕度:35%~80%;

供電要求

AC 220V,50Hz

校準(zhǔn)平臺(tái)、熱流機(jī)供電

AC 380V,50Hz

溫控箱供電

供氣要求

2.0bar

校準(zhǔn)供氣,干燥、純凈的氮?dú)?

5.0bar

氣缸供氣,干燥的壓縮空氣

90~100psi

熱流機(jī)供氣,干燥的壓縮空氣

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